Thermal Oxide Silicon Wafer

Thermal Oxide Silicon Wafer

Thermal Oxide Silicon Wafer är kiselwafers som har ett lager av kiseldioxid (SiO2) bildat på sig. Termisk oxid (Si+SiO2) eller kiseldioxidskikt bildas på en bar kiselskiva vid förhöjd temperatur i närvaro av en oxidant genom den termiska oxidationsprocessen.
Skicka förfrågan
chatta nu
Beskrivning
Tekniska parametrar

Ningbo Sibranch Microelectronics Technology Co.,Ltd.:Din pålitliga tillverkare av 300 mm silikonwafer!

 

 

Sibranch Microelectronics grundades 2006 av materialvetenskap och ingenjörsforskare i Ningbo, Kina, och syftar till att tillhandahålla halvledarwafer och service över hela världen. Våra huvudprodukter inkluderar standardkiselskivor SSP (ensidigt polerade), DSP (dubbelsidiga polerade), testkiselskivor och prime kiselskivor, SOI (Silicon on Insulator) wafer och myntrullskivor med diameter upp till 12 tum, CZ/MCZ/FZ/NTD, nästan vilken som helst, hög snitt, hög riktning, hög riktning ultra-platta, ultra-tunna, tjocka wafers etc.

 

Ledande service

Vi är fast beslutna att ständigt förnya våra produkter för att ge utländska kunder ett stort antal högkvalitativa-produkter för att överträffa kundnöjdheten. Vi kan också tillhandahålla skräddarsydda tjänster enligt kundernas krav såsom storlek, färg, utseende etc. Vi kan tillhandahålla det mest förmånliga priset och hög-kvalitetsprodukter.

 

Kvalitetsgaranti

Vi har kontinuerligt forskat och förnyat för att möta olika kunders behov. Samtidigt följer vi alltid strikt kvalitetskontroll för att säkerställa att kvaliteten på varje produkt uppfyller internationella standarder.

 

Breda försäljningsländer

Vi fokuserar på försäljning på utomeuropeiska marknader. Våra produkter exporteras till Europa, Amerika, Sydostasien, Mellanöstern och andra regioner och tas emot väl av kunder över hela världen.

 

Olika typer av produkter

Vårt företag erbjuder skräddarsydda tjänster för bearbetning av kiselwafer som är skräddarsydda för att möta våra kunders specifika behov. Dessa inkluderar Si Wafer BackGrinding, Dicing, DownSizing, Edge Grinding, såväl som MEMS bland andra. Vi strävar efter att leverera skräddarsydda lösningar som överträffar förväntningarna och säkerställa kundnöjdhet.

 

Produkttyper

 

CZ Silicon Wafer

CZ Silicon Wafers skärs av enkristallkiselgöt som dras med Czochralski CZ-tillväxtmetoden, som används mest inom elektronikindustrin för att odla kiselkristaller från stora cylindriska kiselgöt som används för att tillverka halvledarenheter. I denna process införs ett långsträckt kristallint kiselfrö med exakt orienteringstolerans i en smält kiselpool med exakt kontrollerad temperatur. Groddkristallen dras långsamt uppåt från smältan med en strikt kontrollerad hastighet, och kristallstelnandet av vätskefasatomerna sker vid gränsytan. Under denna dragningsprocess roterar frökristallen och degeln i motsatta riktningar och bildar ett stort enkristallkisel med en perfekt kristallstruktur av fröet.

Silicon Oxide Wafer

Kiseloxidskiva är ett avancerat och viktigt material som används i olika högteknologiska industrier och applikationer. Det är ett kristallint ämne med hög-renhet som framställs genom att bearbeta kiselmaterial av-hög kvalitet, vilket gör det till ett idealiskt substrat för många olika typer av elektroniska och fotoniska applikationer.

Dummy Wafer (Coinroll)

Dummy wafers (även kallade testwafers) är wafers som huvudsakligen används för experiment och test och skiljer sig från vanliga wafers för produkt. Följaktligen används återvunna wafers mestadels som dummy wafers (testwafers).

Guldbelagd silikonwafer

Guld-belagda kiselskivor och guld-belagda kiselchips används i stor utsträckning som substrat för analytisk karakterisering av material. Till exempel kan material som deponeras på guld-belagda wafers analyseras via ellipsometri, Ramanspektroskopi eller infraröd (IR) spektroskopi på grund av guldets höga-reflektionsförmåga och gynnsamma optiska egenskaper.

Silicon Epitaxial Wafer

Silicon Epitaxial Wafers är mycket mångsidiga och kan tillverkas i en mängd olika storlekar och tjocklekar för att passa olika branschkrav. De används också i en mängd olika applikationer, inklusive integrerade kretsar, mikroprocessorer, sensorer, kraftelektronik och solceller.

Termisk oxid torr och våt

Tillverkad med den senaste tekniken och är designad för att erbjuda oöverträffad tillförlitlighet och konsekvent prestanda. Thermal Oxide Dry and Wet är ett viktigt verktyg för halvledartillverkare över hela världen eftersom det ger ett effektivt sätt att producera wafers av-hög kvalitet som uppfyller branschens alla krävande krav.

300 mm silikonskiva

Denna wafer har en diameter på 300 millimeter, vilket gör den större än traditionella waferstorlekar. Denna större storlek gör den mer kostnads-effektiv och effektiv, vilket möjliggör större produktion utan att ge avkall på kvaliteten.

100 mm silikonskiva

Silikonskivan på 100 mm är en hög-kvalitetsprodukt som används flitigt inom elektronik- och halvledarindustrin. Denna wafer är designad för att ge optimal prestanda, precision och tillförlitlighet som är avgörande vid tillverkning av halvledarenheter.

200 mm Silicon Wafer

200 mm kiselskivan är också mångsidig i sina applikationer, med applikationer inom forskning och utveckling, såväl som i hög-volymtillverkning. Den kan anpassas till dina exakta specifikationer, med alternativ för tunna eller tjocka wafers, polerade eller opolerade ytor och andra funktioner baserat på dina specifika behov.

 

Vad är Thermal Oxide Silicon Wafer

 

 

Thermal Oxide Silicon Wafer är kiselwafers som har ett lager av kiseldioxid (SiO2) bildat på sig. Termisk oxid (Si+SiO2) eller kiseldioxidskikt bildas på en bar kiselskiva vid förhöjd temperatur i närvaro av en oxidant genom den termiska oxidationsprocessen. Den odlas vanligtvis i en horisontell rörugn med ett temperaturområde från 900 grader ~ 1200 grader, med antingen en "våt" eller "torr" tillväxtmetod. Termisk oxid är ett slags "vuxet" oxidskikt. Jämfört med det CVD-deponerade oxidskiktet är det ett utmärkt dielektriskt skikt som en isolator med högre likformighet och högre dielektrisk hållfasthet. För de flesta{10}kiselbaserade enheter är det termiska oxidskiktet ett viktigt material för att pacifiera kiselytan för att fungera som dopningsbarriärer och ytdielektrik.

 

 
Typer av termisk oxidkiselwafer
 

Våt Termisk Oxid På Båda Sidorna Av Wafer
Filmtjocklek: 500Å – 10µm på båda sidor
Filmtjocklek Tolerans: Mål ±5 %
Filmspänning: – 320±50 MPa Kompressiv

01/

Våt Termisk Oxid På Singelsidan Av Wafer
Filmtjocklek: 500Å – 10 000Å på båda sidor
Filmtjocklek Tolerans: Mål ±5 %
Filmspänning: -320±50 MPa Kompressiv

02/

Torr termisk oxid på båda sidorna av rånet
Filmtjocklek: 100Å – 3 000Å på båda sidor
Filmtjocklek Tolerans: Mål ±5 %
Filmspänning: – 320±50 MPa Kompressiv

03/

Torr termisk oxid på en sida av rånet
Filmtjocklek: 100Å – 3 000Å på båda sidor
Filmtjocklek Tolerans: Mål ±5 %
Filmspänning: – 320±50 MPa Kompressiv

04/

Torr klorerad termisk oxid med bildande gasglödgning
Filmtjocklek: 100Å – 3 000Å på båda sidor
Filmtjocklek Tolerans: Mål ±5 %
Filmspänning: – 320±50 MPa Kompressiv
Sidor Process: Båda sidorna

Tillverkningsprocessen för termisk oxidkiselwafer

 

Den termiska oxidationen av kisel börjar med att placera kiselskivorna i ett kvartsställ, allmänt känt som en båt, som värms upp i en termisk oxidationsugn av kvarts. Temperaturen i ugnen kan vara mellan 950 och 1 250 grader Celsius under standardtryck. Ett kontrollsystem behövs för att hålla skivorna inom cirka 19 grader Celsius av den önskade temperaturen.
Syre eller ånga införs i den termiska oxidationsugnen, beroende på vilken typ av oxidation som utförs.
Syre från dessa gaser diffunderar sedan från ytan av substratet genom oxidskiktet till kiselskiktet. Oxidationsskiktets sammansättning och djup kan styras exakt av parametrar som tid, temperatur, tryck och gaskoncentration.
En hög temperatur ökar oxidationshastigheten, men den ökar också föroreningarna och rörelsen i förbindelsen mellan kisel- och oxidskikten.

Dessa egenskaper är särskilt oönskade när oxidationsprocessen kräver flera steg, vilket är fallet med komplexa IC. En lägre temperatur ger ett oxidskikt av högre kvalitet, men ökar också tillväxttiden.

Den typiska lösningen på detta problem är att värma skivorna vid en relativt låg temperatur och högt tryck för att minska tillväxttiden.

En ökning med en standardatmosfär (atm) minskar den erforderliga temperaturen med cirka 20 grader Celsius, förutsatt att alla andra faktorer är lika. Industriella tillämpningar av termisk oxidation använder upp till 25 atm tryck med en temperatur mellan 700 och 900 grader Celsius.

Oxidens tillväxthastighet är initialt mycket snabb men saktar ner eftersom syre måste diffundera genom ett tjockare oxidskikt för att nå kiselsubstratet. Nästan 46 procent av oxidskiktet penetrerar det ursprungliga substratet efter att oxidationen är klar, vilket lämnar 54 procent av oxidskiktet ovanpå substratet.

 

 
FAQ
 

F: Vad är den termiska oxiden av en kiselwafer?

S: Termisk oxidation är resultatet av att en kiselskiva exponeras för en kombination av oxidationsmedel och värme för att skapa ett lager av kiseldioxid (SiO2). Detta skikt är oftast gjort med väte och/eller syrgas, även om vilken halogengas som helst kan användas.

F: Vilka är de två huvudsakliga orsakerna till termisk oxidation?

S: Denna oxidationsugn utsätts sedan för antingen syre (torr termisk oxidation) eller vattenmolekyler (våt termisk oxidation). Molekylerna av syre eller vatten reagerar med kiselytan och bildar ett tunt oxidskikt gradvis.

F: Vad händer när en kiselskiva placeras i en högtemperaturugn med syre eller ånga?

S: Däremot uppnås termisk oxidation genom att reagera en kiselskiva med syre eller ånga vid hög temperatur. Termiskt odlade oxider uppvisar i allmänhet överlägsna dielektriska egenskaper jämfört med avsatta oxider. Strukturen hos dessa oxider är amorf; dock är de starkt bundna till kiselytan.

F: Vad är skillnaden mellan våt och torr termisk oxid?

S: Brytningsindex för WET och DRY Thermal Oxide är inte mätbart olika. Läckströmmen är mindre och dielektrisk hållfasthet är högre för DRY än för WET termisk oxid. Vid mycket låga tjocklekar, mindre än 100nm, kan DRY Oxide-tjockleken kontrolleras mer exakt eftersom den växer långsammare än WET Thermal Oxide.

F: Vad är tjockleken på oxidskiktet på en kiselskiva?

S: Det kallas "oxid", men också kvarts och kiseldioxid. (ungefär 1,5 nm eller 15 Å [ångström]) som bildas på ytan av en kiselwafer närhelst wafern exponeras för luft under omgivande förhållanden.

F: Varför är termisk oxidation att föredra för att odla SiO2 som grindoxid?

S: Tillväxt av kiseldioxid utförs med termisk oxidation, antingen i torr eller våt omgivning. För oxider av högsta kvalitet, såsom gate-oxider, är torroxidation att föredra. Fördelar är en långsam oxidationshastighet, bra kontroll av oxidtjockleken i tunna oxider och höga värden på nedbrytningsfält.

F: Hur tar man bort oxidskiktet från kisel?

S: Kiseldioxidskikt kan avlägsnas från kiselsubstrat med olika metoder. En metod innefattar blötläggning av skivan i en etslösning för att avlägsna det mesta av kiseloxidskiktet, följt av tvättning av ytan på skivan med en andra etslösning för att avlägsna det kvarvarande kiseloxidskiktet.

F: Vad är syftet med att använda ett termiskt odlat oxidskikt på en kiselskiva som startskikt för vår tillverkning?

S: Processen för termisk oxidavsättning på kisel är en vanlig tillverkningsmetod för MEMS-enheter. Processen förbättrar ytan på kiselskivor, tar bort oönskade partiklar och resulterar i tunna filmer med hög elektrisk styrka och renhet.

F: Vad är den termiska oxiden av en kiselwafer?

S: Termisk oxidation är resultatet av att en kiselskiva exponeras för en kombination av oxidationsmedel och värme för att skapa ett lager av kiseldioxid (SiO2). Detta skikt är oftast gjort med väte och/eller syrgas, även om vilken halogengas som helst kan användas.

F: Vad är den termiska tillväxten av kiseloxid?

S: Kiseldioxidtillväxt sker 54 % över och 46 % under den ursprungliga ytan av kisel när kisel förbrukas. Den våta oxidationshastigheten är snabbare än den torra oxidationsprocessen. Därför är den torra oxidationsprocessen lämplig för bildning av tunna oxidskikt för att passivera kiselytan.

F: Vad är torr oxidation av kiselwafer?

S: Vanligtvis används syrgas med hög-renhet för att oxidera kisel. Kvävgas i oxidationssystemet används som processgas under tomgång, temperaturstegring, waferladdningssteg och kammarrening, eftersom kväve inte reagerar med kisel vid processtemperaturen.

F: Varför är termisk oxidation att föredra för att odla SiO2 som grindoxid?

S: Tillväxt av kiseldioxid utförs med termisk oxidation, antingen i torr eller våt omgivning. För oxider av högsta kvalitet, såsom gate-oxider, är torroxidation att föredra. Fördelar är en långsam oxidationshastighet, bra kontroll av oxidtjockleken i tunna oxider och höga värden på nedbrytningsfält.

F: Hur fungerar termisk oxidation?

S: En termisk oxidator värmer VOC eller HAP till en exakt temperatur tills de oxideras. Oxidationsprocessen bryter ner de skadliga föroreningarna till koldioxid och vatten. Termiska oxidationsmedel är idealiska i applikationer där partiklar kan förekomma och där det finns en högre koncentration av VOC.

F: Vilken typ av kiselsubstrat används för oxidation?

A: Enkristall<100>kisel eller kisel med något felskuret (<100>±0,5 grader) ger det bästa resultatet. Måttliga dopningsnivåer (1-100 Ωcm resistivitet) föredras. Större diametrar upp till 300 mm är vanliga för termisk oxidation.

F: Varför är ytans skick så viktigt?

S: En organisk -fri yta och minimal strävhet möjliggör jämn oxidation och minimerar defekter i oxidskiktet. Rengöringsprocedurer syftar till att avlägsna organisk förorening och partiklar ner till<100/cm2 level.

F: Vad orsakar variation i oxidationshastighet?

S: De primära drivkrafterna är temperatur och oxiderande omgivning. Men parametrar som dopningskoncentration, defektdensitet, kristallorientering, ytjämnhet påverkar även diffusionshastigheter som styr oxidationskinetiken.

F: Vilka problem kan uppstå från o-enhetligt kisel?

S: Rumsliga skillnader i tjocklek eller sammansättning försämrar enhetens prestanda och avkastning. Enhetlighetsmål är generellt<±1% variation across a wafer.

F: Hur rent måste kiselsubstratet vara?

S: Hög renhet med minimal metallisk eller kristallografisk kontaminering är avgörande för grindens dielektriska kvalitet. Kisel för avancerade noder kan använda renhetsnivåer över 11 nior (99,999999999%).

F: Kan kiseloxid ersätta kiselsubstrat i enheter?

S: Nej. Kiseloxid har en isolerande och dielektrisk funktion, men enheter som transistorer kräver ett underliggande halvledarsubstrat som kisel för funktionalitet. Endast kisel i sig möjliggör effektivt växlingsbeteende.

F: Hur mycket kisel förbrukas under oxidation?

S: Cirka 44 % av den ursprungliga oxidtjockleken härrör från konsumtionen av själva kiselskivan. Balansen härrör från syrekällan. Detta förhållande bestämmer den slutliga oxidrenheten.
varför välja oss

 

Våra produkter kommer uteslutande från världens fem främsta tillverkare och ledande inhemska fabriker. Stöds av högutbildade inhemska och internationella tekniska team och stränga kvalitetskontrollåtgärder.

Vårt mål är att ge kunderna omfattande en-till-en-support, vilket säkerställer smidiga kommunikationskanaler som är professionella, aktuella och effektiva. Vi erbjuder en låg minimibeställningskvantitet och garanterar snabb leverans inom 24 timmar.

 

Fabriksutställning

 

Vårt stora lager består av 1000+ produkter, vilket säkerställer att kunder kan lägga beställningar för så lite som ett stycke. Vår egenägda utrustning för tärning och bakslipning och vårt fullständiga samarbete i den globala industrikedjan gör att vi kan leverera snabbare för att säkerställa kundnöjdhet och bekvämlighet.

01
02
03

 

Vårt certifikat

 

Vårt företag är stolta över de olika certifieringar vi har tjänat, inklusive vårt patentcertifikat, ISO9001-certifikat och National High-Tech Enterprise-certifikat. Dessa certifieringar representerar vårt engagemang för innovation, kvalitetsledning och engagemang för excellens.

01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
11
12
13
14

 

Populära Taggar: termisk oxid kisel wafer, Kina termisk oxid kisel wafer tillverkare, leverantörer, fabrik