Vad är den platta kanten på en silikonwafer?
Platt kan också kallas en positioneringskant.
2, 4 och 6-tums kiselskivor är inte helt runda, utan har ett hörn avskuret. Efter att kiselgötet har dragits ut med CZ-metoden, innan det skärs till kiselskivor, när kristallorienteringen har bestämts, skärs en eller flera plana kanter på götet med en diamantsåg. Därför har kiselskivan 1-2 positioneringskanter, den långa positioneringskanten är längst ner på wafern och den korta positioneringskanten är inte fixerad i position, och ändras med kristallorienteringen och dopningstypen.
Vad är förhållandet mellan positioneringskantpositionen och kristallorienteringen?
Det finns i allmänhet tre typer av kristallorientering för kiselskivor:<111> <110> <100>.
När vinkeln mellan huvudpositioneringskanten och den sekundära positioneringskanten är 45 grader, är kiselwafertypen n-typ<111>; när vinkeln mellan huvudpositioneringskanten och den sekundära positioneringskanten är 90 grader, är kiselskivan typ p-typ<100>; när vinkeln mellan huvudpositioneringskanten och den sekundära positioneringskanten är 180 grader, är kiselwafertypen n-typ<100>. Sedan<110>Kristallorientering är inte en vanlig orientering av kiselskivor, det finns ingen standard för att representera det. De<110>kristallorientering kan representeras enligt kiselwaferleverantörens egna standarder.
Är längden på de primära och sekundära positioneringskanterna fasta?
Ja, eftersom de måste matcha halvledartillverkningsutrustning är längderna och positionerna för de primära, primära och sekundära positioneringskanterna fasta.
I allmänhet är längden på den primära positioneringskanten på en 2-tums kiselskiva 15,8 mm, längden på den primära positioneringskanten på en 4-tums kiselskiva är 32,5 mm och längden på den primära positioneringskanten på en 6-tums silikonskiva är 57,5 mm. Längden på den sekundära positioneringsplattan på en 4-tums kiselskiva är cirka 18 mm, och längden på den sekundära positioneringsplattan på en 6-tums kiselskiva är cirka 22 mm.