Var används silikonwafer polerkuddar?

Polerade wafers är den mest använda produkten, och andra kiselwaferprodukter tillverkas genom sekundär bearbetning på basis av polerade wafers.
Polerade wafers är de mest grundläggande och mest använda silikonwafers. Polerade wafers kan direkt användas för att tillverka halvledarenheter, som ofta används i minneschips och kraftenheter, och kan också användas som substratmaterial för epitaxiella wafers, SOI-kiselwafers och andra typer av kiselwafers.
Med den kontinuerliga krympningen av den karakteristiska linjebredden hos integrerade kretsar och den allt finare precisionen av litografi, kommer de extremt små ojämnheterna på kiselskivan att orsaka deformation och dislokation av grafiken i den integrerade kretsen. Tekniken för tillverkning av kiselwafer står inför allt högre krav och utmaningar. Spånytans partikelstorlek och renhet har också en direkt inverkan på utbytet av halvledarprodukter.
Därför är poleringsprocessen mycket viktig för att förbättra planheten och renheten hos kiselskivans yta. Huvudprincipen är att uppnå planariseringen av halvledarkiselskivans yta och minska grovheten genom att ta bort det kvarvarande skadeskiktet på den behandlade ytan.